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气浮平台介绍发布日期:2022-05-31

气浮平台是集成气浮支撑并实现某种运动功能的总成,比如XY运动平台,旋转气浮平台等等。对于直线运动系统,可集成直线电机和光栅尺;对于旋转运动系统,可集成电机和编码器,或直线运动系统和旋转运动系统组成一起。

气浮平台在超高精密加工和测量领域有着广泛的应用,比如:光学测试,激光微加工,晶圆处理等。

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