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气浮平台的原理发布日期:2022-06-29

  气浮平台的结构由气浮导轨(含载物板),直线电机和光栅尺等主要部件组成,需要配干净,无水无油的压缩空气。

  气浮平台是光刻机贴片机等电子制造设备的主要工作机构。伴随着电子产品的生产,产品的体积越来越小,对精度的要求越来越高。所以,高精度、高稳定性的移动平台对于电子设备的发展有着举足轻重的作用。另外,微电子系统制造和测试、光学测量加工、超精密加工、航空发动机测量制造等领域都离不开精密定位技术。因为空气轴承精度比滚动轴承高两个数量级,且精度高,摩擦系数小,采用气浮平台方案是精密运动平台设计的理想选择。

  气浮平台在气体动静压效应的基础上,实现了没有摩擦和没有振动的平滑移动。之后通过气管把压缩空气输入到载物板与气浮导轨之间(气膜间隙),气体在气膜间隙内流动,让载物板在气浮导轨上浮起来,气体的作用相当于润滑剂,能够起到无摩擦运动。

  我们从用户的需求,比如精度要求、负载大小、载物板尺寸、工作速度、加速度、动作路径及多轴整合等综合考虑方案,配置高性价比的气浮平台。

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