源祁产品中心
高精密气浮转台
高精密气浮转台

MAGER空气轴承转台广泛用于制造适合高精度应用的旋转导向解决方案。它们是设计空气轴承系统的完美解决方案,该系统将集成到标准或定制解决方案中,具有减少系统摩擦的优势。MAGER空气轴承转台配有预加载径向和轴向轴承,确保系统的高刚度,不受外力影响。我们转台的主要特点是径向和轴向的纳米跳动。XRT系列气浮转台专为垂直使用和硅晶圆研磨工艺而设计。后缀-VC表示上部接口适合集成真空吸盘。

1721123895246.jpg