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气浮主轴
气浮主轴

高的转速能力,同时也避免了轴承发热带来的诸多问题,圆周均匀包裹的气膜对主轴具有“均化效应”,可以大大补偿加工轴时的误差。

气浮主轴具有传统滚动轴承无法达到的精度。只有一个运动部件和零接触,具有亚微米同步误差运动,纳米级异步误差。


应用领域

气浮主轴技术可用于需要旋转运动的各种应用中。它们可以与其他空气轴承技术结合使用,以提供无限的行进方向。我们的气浮主轴可以实现高精度旋转,而无需部件之间的接触或润滑剂的使用,这意味着在制造过程中减少了维护停机时间。


转台

1,转子与定子之间无接触,因此实际上消除了由于旋转工作台中的机械问题而导致的停机时间。

2,仅需一个旋转元件,就可以大大减少误差运动,从而达到纳米级的精度。


加工光学元件

1,允许高速旋转以切割光学元件。

2,超精密定位和运动,无磨损。

3,晶圆背研

其他应用:计量学,测功机,机器人末端执行器,钻孔,镗铣,与线性空气滑块配对以实现多轴运动


气浮主轴数据表

型号:XRT-150

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