MAX PLANAR空气轴承直线运动系统的特点是交叉X-Y轴与直线驱动电机。所述X轴上设有龙门结构的双直线无铁芯电机和双光学编码器。MAX PLANAR系统是要求高精度和动态的加工和测量领域的理想应用:光学测试，探头卡测试，激光微加工，晶圆处理等。MAX PLANAR系列使用适合在花岗岩导轨上移动的平面空气轴承。由于平面结构，Y轨道直接移动在花岗岩表面，以保证一个非常高的精度运动。该系统配备无铁芯直线电机和光学线性编码器。

MAX PLANAR系统的设计采用了主要的花岗岩基底，以保证框架的刚性和稳定性。X轴配备了大尺寸空气轴承，旨在增加整体刚度，并采用了Mager的磁铁预紧概念。Y轴轨道底板上集成了空气轴承，可与X轴轨道同时移动。Y轴轨道在花岗岩上预装了一个真空室，这个概念的主要好处是形成一个不受有效载荷影响的刚性轨道。无铁芯直线电机适用于无齿槽运动，光学编码器可以保证适当的反馈，以实现非常高精度的控制。

可定制化设计气浮运动平台。

XY运动平台数据表